Am Paul Scherrer Institut in Würenlingen und Villigen entstehen 3D-Bilder von Computerchips – von mit einer Auflösung von vier Nanometern, also vier millionstel Millimeter.
Am Paul Scherrer Institut in Würenlingen und Villigen entstehen 3D-Bilder von Computerchips – von mit einer Auflösung von vier Nanometern, also vier millionstel Millimeter.
Zwar erlauben Rasterelektronenmikroskope eine Auflösung von wenigen Nanometern und eignen sich daher gut, um die winzigen Transistoren und Metallverbindungen abzubilden, aus denen die Schaltkreise bestehen. Allerdings lassen sich damit nur zweidimensionale Bilder der Oberfläche erzeugen. Nur: «Hier haben wir das Problem mit der Auflösung», erklärt Mirko Holler, Physiker an der SLS. «Es existieren derzeit keine Röntgenlinsen, die diese Strahlung für die Abbildung solch winziger Strukturen bündeln können.»Die Lösung nennt sich Ptychografie. Bei diesem Verfahren wird der Röntgenstrahl nicht im Nanometerbereich gebündelt, sondern die Probe wird im Nanometerbereich verschoben.
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